Kriopump gazni quyish uchun past haroratli sirtdan foydalanadigan vakuum nasosidir, uni kondensat nasosi deb ham ataladi. Kriopump eng yuqori nasos tezligi va eng past bosimli toza vakuumni olishi mumkin va yarimo'tkazgichlar va integral mikrosxemalar, shuningdek molekulyar nurlarni tadqiq qilish, vakuumli qoplama uskunalari, vakuumli sirt tahlil asboblari, ionlarni tadqiq qilish va ishlab chiqarishda keng qo'llaniladi. implantatorlar va kosmik simulyatsiya qurilmalari va boshqalar jihati.
nasos printsipi
Kriopump ichida suyuq geliy yoki muzlatgich yordamida juda past haroratgacha sovutilgan sovuq plastinka mavjud. U gazni quyuqlashtiradi va nasos effektiga erishish uchun kondensatning bug 'bosimini nasosning oxirgi bosimi ostida ushlab turadi. Past haroratli nasosning asosiy funktsiyalari past haroratli kondensatsiya, past haroratli adsorbsiya va past haroratni ushlab turishdir.
① Past haroratli kondensatsiya: gaz molekulalari sovuq plastinka yuzasida yoki kondensatsiyalangan gaz qatlamida kondensatsiyalanadi va muvozanat bosimi asosan kondensatning bug 'bosimiga teng. Havoni pompalaganda, sovuq plastinkaning harorati 25K dan past bo'lishi kerak; vodorodni pompalaganda, sovuq plastinkaning harorati past bo'ladi. Past haroratli kondensatsiya va ekstraksion kondensatsiya qatlamining- qalinligi taxminan 10 mm ga yetishi mumkin.
②Past haroratli adsorbsiya: gaz molekulalari monomolekulyar qatlam qalinligi (santimetrlar tartibida) bilan sovuq plastinkada qoplangan adsorbent yuzasida adsorbsiyalanadi. Adsorbsiya uchun muvozanat bosimi bir xil haroratdagi bug' bosimidan ancha past.
Vodorodning bug 'bosimi 20K da atmosfera bosimiga teng bo'lsa, vodorodni 20K faollashtirilgan uglerod bilan yutishda adsorbsiyaning muvozanat bosimi Pa dan past bo'ladi. Bu yuqori haroratlarda kriyojenik adsorbsiya orqali nasoslarni amalga oshirish imkonini beradi.
③Kriogen tutilish: Ekstraksiya haroratida kondensatsiyalana olmaydigan gaz molekulalari kondensatsiyalanadigan gazning o'sib borayotgan qatlami tomonidan ko'miladi va adsorbsiyalanadi.
Umuman olganda, nasosning oxirgi bosimi sovuq plastinka haroratida kondensatsiyalangan gazning bug 'bosimidir. Harorat 120K bo'lsa, suvning bug 'bosimi allaqachon Pa dan past bo'ladi. 20K haroratda, geliy, neon va vodoroddan tashqari, boshqa gazlarning bug' bosimi ham Pa dan past bo'ladi.
Shu bilan birga, pompalanadigan idish va kriyojenik sovuq plastinkaning turli haroratlari tufayli nasosning yakuniy bosimi kondensatning bug 'bosimidan yuqori.
Xona haroratida, 20K kriyopanelli idish uchun nasosning oxirgi bosimi kondensatning bug 'bosimidan taxminan 4 baravar yuqori.