Kriopompalar vakuum olish uchun gaz kondensatsiyasi, kriogen adsorbsiya, kriogen tutqich yoki assimilyatsiya qilish tamoyiliga muvofiq ishlab chiqariladi.
1. Nasosning ish bosimiga ko'ra, u uzluksiz oqim diapazoni uchun kriyopompa, molekulyar oqim diapazoni uchun kriopump, odatda kondensat pompasi va adsorbsiya bosqichi yoki kriyojenik tutilish bosqichiga bo'linishi mumkin.
2. Sovutish usuliga ko'ra, uni saqlash tanki kriyopompasi, bug'lanishli kriyopompa va sovutish kriyopompasiga bo'lish mumkin. Ularning orasida saqlash tanki kriyopompa va bug'lanishli kriyopompa ikkalasi ham sovutish uchun suyuq sovutgichdan foydalanadi, sovutish qalqoni yuzasi odatda suyuq azotdan foydalanadi va kriyojenik sirt odatda sovutish uchun suyuq geliy yoki gaz geliysi ishlatiladi. Suyuq vodorodning yonuvchanligi, portlash qobiliyati va yuqori narxi tufayli u suyuq geliydan yuqori bug'lanish entalpiyasiga qaramasdan hali ham kamdan-kam qo'llaniladi.
Sovutgichli kriyopompa muzlatgichlari odatda Gifford tomonidan qo'llaniladi. McMahon turi (GM muzlatgichi deb ataladi) va Stirling turi (St muzlatgichi deb ataladi). Katta nasos tezligiga ega sovutish kriopompalari uchun suyuq geliyli haroratli sovutgichdan foydalanish mumkin va JT valfi suyuqlik aylanma sovutish moslamasini yaratish uchun o'rnatilishi mumkin va ba'zida suyuqlik saqlash idishidagi suyuq azot yoki azotni suyultirish mashinasi ishlatiladi. to'siq va qalqon yuzasini sovutib oling.
Kriopumpning asosiy ishlashi
①Nasos tezligidan yuqori, boshqa barcha turdagi nasoslardan yaxshiroq.
②Shakl bo'yicha hech qanday cheklovlar yo'q, uni vakuum kamerasiga botirish yoki gardish bilan vakuum kamerasining devoriga mahkamlash mumkin.
③U vakuum tizimiga ifloslanmasdan butunlay toza vakuumni ta'minlaydi.
④Vakuum darajasi juda past bosimni olish mumkin, masalan, 10-12Pa dan past. Bundan tashqari, kriyopompaning ishlashi ishonchli va nasos tezligi nisbatan katta bo'lsa, uning sarmoyasining operatsion qiymati an'anaviy vakuum nasosidan past bo'ladi va avtomatlashtirishni amalga oshirish oson.