Kriopump gazni quyish uchun past haroratli sirtdan foydalanadigan vakuum nasosidir, uni kondensat nasosi deb ham ataladi. Kriopump eng yuqori nasos tezligi va eng past bosimli toza vakuumni olishi mumkin va yarimo'tkazgichlar va integral mikrosxemalar, shuningdek molekulyar nurlarni tadqiq qilish, vakuumli qoplama uskunalari, vakuumli sirt tahlil asboblari, ionlarni tadqiq qilish va ishlab chiqarishda keng qo'llaniladi. implantatorlar va kosmik simulyatsiya. qurilmalar va boshqalar.
Nasos printsipi Kriyopompa suyuq geliy yoki muzlatgich bilan juda past haroratgacha sovutilgan sovuq plastinka bilan jihozlangan. U gazni quyuqlashtiradi va nasos effektiga erishish uchun kondensatning bug 'bosimini nasosning oxirgi bosimi ostida ushlab turadi. Past haroratli nasosning asosiy funktsiyalari past haroratli kondensatsiya, past haroratli adsorbsiya va past haroratni ushlab turishdir.
kriyopompa
① Past haroratli kondensatsiya: gaz molekulalari sovuq plastinka yuzasida yoki kondensatsiyalangan gaz qatlamida kondensatsiyalanadi va muvozanat bosimi asosan kondensatning bug 'bosimiga teng. Vodorodni pompalashda sovuq plastinka harorati pastroq bo'ladi.
②Past haroratli adsorbsiya: gaz molekulalari bir molekulyar qatlam qalinligi bilan sovuq plastinkada qoplangan adsorbent yuzasida adsorbsiyalanadi. Adsorbsiya uchun muvozanat bosimi bir xil haroratdagi bug' bosimidan ancha past bo'ladi.
③Kriogen tutilish: Ekstraksiya haroratida kondensatsiyalana olmaydigan gaz molekulalari kondensatsiyalanadigan gazning o'sib borayotgan qatlami tomonidan ko'miladi va adsorbsiyalanadi.